物品说明
CO2注入与起泡器
原理图
半导体，显示屏产业的清洗工艺中使用多量的超纯水。将二氧化碳渗透至超纯水，来降低电阻，减少高材质的表面摩擦，以至减少不合格品。AIRREN不仅在发展二氧化碳的注入模组、同时也发展发泡机等相关事业。
主要应用
使用在用超纯水清洗半导体晶片的工艺 (Scrubber , Lithography, Mask cleaning, CMP, Dicing 等)
使用在用超纯水清洗显示屏晶片的工艺 (Mask, Glass Cleaning 等)
降低超纯水电导率的工艺
AIRRANE 产品规格
Model
Number
为什么采用 AIRRANE 的防静电设备？
● 由自主生产的气体分离膜来确保源泉技术
● 相对更迅速的溶解二氧化碳
● 由简单的设置结构所形成的低性能差距或故障率
● 通过各种闹钟设定及电阻率值的传送，提供用户的便利性
二氧化碳注入装置 & 二氧化碳发泡机
CO2 Injection Membrane (MDB-2108P)
CO2 BubbIer
性能图表
总公司
151-5, Gwahaksaneop 4-ro,
Heungdeok-gu, Cheongju-si,
Republic of Korea
电话 : +82-43-715-6580
传真 : +82-43-715-6582
电子邮件 : inquiry@airrane.com
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