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物品说明

CO2注入与起泡器




CO2注入与起泡器


原理图

半导体，显示屏产业的清洗工艺中使用多量的超纯水。将二氧化碳渗透至超纯水，来降低电阻，减少高材质的表面摩擦，以至减少不合格品。AIRREN不仅在发展二氧化碳的注入模组、同时也发展发泡机等相关事业。

主要应用

使用在用超纯水清洗半导体晶片的工艺 (Scrubber , Lithography, Mask cleaning, CMP, Dicing 等)
使用在用超纯水清洗半导体晶片的工艺 (Scrubber , Lithography, Mask cleaning, CMP, Dicing 等)
使用在用超纯水清洗显示屏晶片的工艺 (Mask, Glass Cleaning 等)
使用在用超纯水清洗显示屏晶片的工艺 (Mask, Glass Cleaning 等)
降低超纯水电导率的工艺
降低超纯水电导率的工艺

主要应用

使用在用超纯水清洗半导体晶片的工艺 (Scrubber , Lithography, Mask cleaning, CMP, Dicing 等)

使用在用超纯水清洗显示屏晶片的工艺 (Mask, Glass Cleaning 等)

降低超纯水电导率的工艺

AIRRANE 产品规格

Model

Number

Dimension (mm)
Connection (inch)
DI Water
L
OD
ID
Feed
Retentate
CO2 In / Out
MDB-1607P
228
64
50
1/2"
1/2"
1/8"
2.0~15L/m
MDB-2108P
274
76
66
1"
1"
1/4"
15~30L/m

为什么采用 AIRRANE 的防静电设备？

●  由自主生产的气体分离膜来确保源泉技术

●  相对更迅速的溶解二氧化碳

●  由简单的设置结构所形成的低性能差距或故障率

●  通过各种闹钟设定及电阻率值的传送，提供用户的便利性

二氧化碳注入装置 & 二氧化碳发泡机

CO2 Injection Membrane (MDB-2108P)

CO2 BubbIer

性能图表

总公司 

151-5, Gwahaksaneop 4-ro,

Heungdeok-gu, Cheongju-si,

Republic of Korea 

电话  : +82-43-715-6580 

传真  : +82-43-715-6582

电子邮件  : inquiry@airrane.com


首尔办事处 

5 Gasan digital 1-ro,

Geumcheon-gu, Seoul,

Republic of Korea 

电话  : +82-2-6956-6234

电子邮件  : nqc@airrane.com


Copyright © AIRRANE all right reserved.

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